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MK体育,ASML荷兰有限公司取得对准、重叠、配置标记、制造图案形成装置和图案化标记的方法专利
金融界2024年12月17日消息,国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司取得一项名为“对准、重叠、配置标记、制造图案形成装置和图案化标记的方法”的专利,授权公告号 CN 114008540 B,申请日期为2020年6月。
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